近日，金鉬集團技術(shù)中心科研團隊經(jīng)過(guò)一年多不懈的努力探索，攻克了二硫化鉬靶材制備的關(guān)鍵技術(shù)，成功制備出了長(cháng)度可達1米以上的大規格二硫化鉬靶材。目前該靶材已交付客戶(hù)進(jìn)行實(shí)質(zhì)性質(zhì)量認證。
二硫化鉬具有六方層狀的晶體結構，層間以弱的范德瓦爾斯力結合，剪切強度低，被譽(yù)為“固體潤滑之王”，廣泛應用于宇航工程、機械工業(yè)制造、電子等方面。二硫化鉬是繼石墨烯后，備受?chē)H科學(xué)家關(guān)注的層狀材料，單層二硫化鉬具有良好發(fā)光效率，極佳電子遷移率（可快速反應）與高開(kāi)關(guān)比（電晶體較穩定），可用于未來(lái)新型低耗能邏輯電路，極有可能取代目前硅晶做下一代主要核心元件。
二硫化鉬靶材主要用于航天航空及電子等領(lǐng)域制備二硫化鉬薄膜產(chǎn)品來(lái)實(shí)現二硫化鉬各項優(yōu)異性能。二硫化鉬與石墨性質(zhì)類(lèi)似，成型相對困難，制備大規格產(chǎn)品難度更大，需要突破產(chǎn)品本身規格制備及背板綁定兩項主要技術(shù)。項目人員經(jīng)過(guò)不斷試驗、討論、分析，調整工藝路線(xiàn)、試驗各項參數，最終攻克了二硫化鉬靶材制備及銅背板綁定技術(shù)，成功制備出了長(cháng)度可達1米以上的大規格二硫化鉬靶材并交付客戶(hù)開(kāi)始進(jìn)行實(shí)質(zhì)性質(zhì)量認證。該項技術(shù)目前處于國內領(lǐng)先水平，科研團隊已申請了“一種制備二硫化鉬靶材的方法”、“一種二硫化鉬濺射靶材的制備方法”等4項發(fā)明專(zhuān)利，其中3項已獲授權。
大規格二硫化鉬靶材的成功制備及客戶(hù)的交付認證，標志著(zhù)公司又一二硫化鉬新產(chǎn)品取得重大突破，同時(shí)也為后續大規格二硫化鉬靶材實(shí)現產(chǎn)業(yè)化奠定良好的基礎。
【責任編輯：王新權】